Elektrochemisches Ätzen und Tempern mesoporöser Germaniumschichten für die Verwendung als ablösbare Epitaxievorlage
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Datum der Disputation

  • 13.10.2021

Autor:in

  • Schreiber, Waldemar

Erstbetreuer:in

Digital Object Identifier (DOI)

Schlagwörter

  • Lift-off
  • Mesoporöse Schichten
  • Poröse Schichtstapel
  • Poröses Germanium
  • Tempern poröser Germaniumschichten
  • Elektrochemisches Ätzen

Organisationseinheit

Fach